石英材料:0716-8304668/0716-8333088
石英纤维 销售电话 : 18071880998
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材料简介
Introduction
使用高品质原材料生产的高精度、大尺寸、厚度为0.5mm的石英玻璃晶圆片，可根据客户要求定制。
使用高品质的合成石英玻璃，最大尺寸可达φ300mm，最薄为0.5mm。高精度的平面度和表面粗糙度。
主要用途
Main Application
半导体制成、生物技术、MEMS（微电子机械系统）、HTPS（高温多晶硅TFT液晶）。
规格参数
Corresponding Specifications
厚度
尺寸公差
（ mm ）
平面度（PV）（通光面）
TTV
表面粗糙度（Ra）
划痕
凹坑
崩边
（ μ m ）
≥0.5 mm
直径 ± 0.1
厚度 ± 0.02 mm
≤ λ （ λ = 632.8mm ）
≤ 1 μm （ φ 200 mm ）
≤ 0.01 μm
宽度 ≤ 10 μm
直径 ≤ 25 μm
≤ 300 μm （楞边）
≤ 200 μm （表面）
详细规格请致电详谈（尺寸φ300mm以内）
TTV（3D图）
TTV
TTV（曲线图）
TTV Curve
样品测量值
Sample Measurement
φ300 mm
平面度（PV）（通光面）
≤ λ （ λ = 632.8mm ）
表面粗糙度（Ra）≤ 0.01 μm
产品详情咨询：18272229653
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